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雷射退火原理

雷射退火是一種利用高能雷射束照射材料表面,使其在極短時間內達到極高溫度,然後迅速冷卻的處理技術。這種處理可以在不熔化材料的情況下,降低材料表面一定厚度內的硬度,達到類似傳統退火的效果,這樣可以消除材料表面的應力、改善組織結構、提高力學性能,同時不會破壞材料的整體結構。

雷射退火在半導體行業中套用廣泛,它能夠有效地消除離子注入產生的晶格缺陷,修復晶體損傷和消除位錯,因為加熱時間非常短,通常為普通熱退火的百萬分之一,因此可以避免破壞積體電路的淺結電導率和其他關鍵結特性。此外,雷射退火還套用於金屬陶瓷等材料的表面改性,通過快速加熱和冷卻,改善材料的表面性能,如硬度、耐磨性和抗腐蝕性。