面形精度RMS(Root Mean Square)指的是表面形狀精度的一種量化指標,用於表徵表面相對於理想平面的偏差。
它是通過計算表面形狀偏差的均方根值來得出的,這個值可以反映表面的微觀不平度或者波面的變化情況,通常用於評估光學元件如透鏡的表面質量。在光學領域,面形精度的測量通常使用乾涉儀進行,其中氦氖雷射器的波長(632.8nm)被用作參考標準。面形精度的測量有兩個主要參數,即PV值(Peak to Valley,峰值與谷值之差)和RMS值,其中RMS值大約是PV值的1/3。
面形精度RMS(Root Mean Square)指的是表面形狀精度的一種量化指標,用於表徵表面相對於理想平面的偏差。
它是通過計算表面形狀偏差的均方根值來得出的,這個值可以反映表面的微觀不平度或者波面的變化情況,通常用於評估光學元件如透鏡的表面質量。在光學領域,面形精度的測量通常使用乾涉儀進行,其中氦氖雷射器的波長(632.8nm)被用作參考標準。面形精度的測量有兩個主要參數,即PV值(Peak to Valley,峰值與谷值之差)和RMS值,其中RMS值大約是PV值的1/3。