面形精度RMS（Root Mean Square）指的是表面形狀精度的一種量化指標，用於表徵表面相對於理想平面的偏差。
它是通過計算表面形狀偏差的均方根值來得出的，這個值可以反映表面的微觀不平度或者波面的變化情況，通常用於評估光學元件如透鏡的表面質量。在光學領域，面形精度的測量通常使用乾涉儀進行，其中氦氖雷射器的波長（632.8nm）被用作參考標準。面形精度的測量有兩個主要參數，即PV值（Peak to Valley，峰值與谷值之差）和RMS值，其中RMS值大約是PV值的1/3。
面形精度RMS（Root Mean Square）指的是表面形狀精度的一種量化指標，用於表徵表面相對於理想平面的偏差。
它是通過計算表面形狀偏差的均方根值來得出的，這個值可以反映表面的微觀不平度或者波面的變化情況，通常用於評估光學元件如透鏡的表面質量。在光學領域，面形精度的測量通常使用乾涉儀進行，其中氦氖雷射器的波長（632.8nm）被用作參考標準。面形精度的測量有兩個主要參數，即PV值（Peak to Valley，峰值與谷值之差）和RMS值，其中RMS值大約是PV值的1/3。