靶材是一種在高科技領域中扮演著至關重要的角色,它們通常被用於高能物理實驗、材料分析、半導體製造和其他工藝中。靶材的主要用途包括:
光電材料。在光電領域,靶材用於製備半導體材料、光電材料、矽片等。例如,金屬靶材可用於製備太陽電池、LED晶片、液晶顯示屏等;氧化物靶材可用於製備磁性材料和光電薄膜等。
電子材料。在電子行業中,靶材多用於半導體材料、薄膜製備、套用於半導體陶瓷、積體電路等。此外,靶材還廣泛套用於充電電池材料、太陽能電池材料、金屬材料保護膜等方面。
材料科學。靶材在材料科學領域中的套用越來越廣泛,如陶瓷靶材可以製備陶瓷薄膜、納米顆粒、防護材料等;金屬靶材可以製備金屬塗層、金屬薄膜、電解質材料、鋰離子電池等。
顯示器。在顯示器上,靶材被普遍套用於平面顯示器(FPD)上。例如,ITO靶材用於製備液晶顯示器上的透明電極。
微電子領域。靶材也被套用於半導體產業,半導體產業對於靶材濺射薄膜的品質要求是比較苛刻的。
存儲技術。存儲技術行業對於靶材的需求量很大,高密度、大容量硬碟的發展,離不開大量的巨磁阻薄膜材料。
能源領域。靶材在能源領域中的套用也很廣泛,例如,鋰離子電池採用的陰陽極材料中,陽極多採用矽材料製備,而矽的前身是金屬矽靶材。
此外,靶材還用於製備各種薄膜,例如在計算機領域中製備硬碟磁頭、顯示器和光學存儲器等。靶材還可以用於微電子設備的製造,例如在生物醫藥領域的納米技術和光電子學領域中的元器件等。