靶材製造是一個複雜的過程，主要包括以下步驟：
原料準備。根據靶材的要求，準備相應的金屬、陶瓷、化合物等原料，這些原料需要按照特定的比例和配方進行準備。
配料混合。將準備好的原料按照一定比例混合均勻，這個步驟對後續的製造過程至關重要。
成型。混合後的原料需要進行成型處理，成型方法包括等離子噴塗、熱壓、擠壓、鍛壓等，成型過程中需注意材料的密實度和精度。
烘乾。成型後的靶材需要進行烘乾處理，以去除水分和揮發性有機物，為後續的燒結過程做準備。
燒結。烘乾後的靶材進行燒結處理，這是靶材製造的核心工藝環節，燒結過程中溫度和時間需要根據材料和配方進行調整，以使材料變得緻密，提高強度和穩定性。
後處理。燒結後的靶材需要進行加工處理，包括打磨、拋光、修整等，以保證其符合使用要求。
此外，對於超高純度的濺射靶材，還需要與背板通過焊接工藝進行接合，背板的作用是固定濺射靶材。整個製造過程中，對原料的選擇、配方的調整、成型技術的運用、燒結溫度的控制等都會影響最終靶材的質量和性能。