cf4是什麼

四氟化碳

CF4，化學名稱爲四氟化碳，也被稱爲四氟甲烷，是一種鹵代烴，化學式爲CF4。它既可以被視爲一種鹵代烴（有機物），也可以被視爲一種無機化合物。在常溫常壓下，CF4是一種無色氣體，不溶於水，但可以溶於苯和氯仿。CF4的主要用途包括在各種集成電路的等離子刻蝕工藝中作爲化學氣相沉積（CVD）的一種原料氣體，以及作爲激光氣體、低溫製冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料和紅外檢波管的冷卻劑。