EDS(Energy Dispersive Spectroscopy)分析，也稱為能譜分析，是一種重要的材料表徵技術。
EDS分析利用X射線激發樣品原子，使其處於激發態，然後原子釋放出特徵X射線。根據這些特徵X射線的能量和強度，可以確定樣品的元素成分和含量。EDS分析具有多種優勢，如快速分析能力、無需樣品預處理、高空間解析度，以及可定量分析的能力。
EDS分析廣泛套用於材料科學、生物學、化工、地質等領域，常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)等儀器結合使用，以實現微區內元素成分的分析。EDS分析可以進行點分析、線分析和面掃描，提供樣品的化學組成、元素分布等信息。