EDXRF（能量色散X射線螢光分析）的原理基於X射線螢光光譜分析技術。具體過程如下：
X射線激發：
X射線管發射的X射線照射在樣品上，樣品中的原子內層電子被激發。
當原子的內層電子被逐出後，會形成一個空穴，外層電子躍遷到內層填補這個空穴，並釋放出能量。
特徵X射線產生：
電子躍遷過程中釋放的能量以特徵X射線（螢光）的形式發出，這些特徵X射線的波長或能量與元素種類有關。
特徵X射線包括Kα和Kβ射線等，其中Kα射線是由L層電子躍遷到K層產生的，而Kβ射線是由M層電子躍遷到K層產生的。
探測與分析：
特徵X射線被半導體探測器接收，探測器具有能量分辨能力，能夠區分不同能量的特徵X射線。
探測器輸出的信號經過放大和處理，可以轉化為樣品中元素的種類和含量信息。
定量與定性分析：
通過測量特徵X射線的波長或能量，可以確定元素的種類，實現定性分析。
根據特徵X射線的強度，可以分析出相應元素的含量，實現定量分析。
EDXRF技術與WDXRF（波長色散X射線螢光分析）的主要區別在於分光方式的不同。EDXRF採用能量色散方式，而WDXRF採用波長色散方式。EDXRF具有較高的能量解析度和較快的分析速度，適用於多種領域，如工業、環境科學和醫學等。