SEM（掃描電子顯微鏡）mapping原理主要涉及到掃描電子顯微鏡（SEM）在材料科學和生物學中的套用，特別是在觀察和分析材料表面形貌和成分時。SEM通過使用高能電子束對樣品表面進行掃描，可以激發產生多種物理信號，包括二次電子、背散射電子、特徵X射線等。這些信號通過探測器收集並按順序、成比例地轉換為視頻信號，然後通過視頻放大和信號處理，最終在顯示屏上以掃描圖象的形式顯示出來，從而反映樣品的表面特徵。
以下是SEM mapping原理中涉及到的幾種信號及其用途：
二次電子：二次電子是指被入射電子激發出來的試樣原子中的外層電子。由於二次電子能量很低，只有靠近試樣表面幾納米深度內的電子才能逸出表面，因此它對試樣表面的狀態非常敏感，主要用於觀察試樣表面的形貌。
背散射電子：背散射電子是指入射電子在試樣中經散射後再從上表面射出來的電子。背散射電子的產額隨著試樣原子序數的增大而增加，能顯示原子序數襯度，可用於對試樣成分作定性的分析。
特徵X射線：特徵X射線是指入射電子將試樣原子內層電子激發後，外層電子向內層電子躍遷時產生的具有特殊能量的電磁輻射。特徵X射線的能量為原子兩殼層的能量差，由於元素原子的各個電子能級能量為確實值，因此特徵X射線能分析試樣的組成成分。
通過這些信號的收集和分析，SEM能夠提供關於材料表面形貌和成分的詳細信息，從而在材料科學、生物學等領域中發揮重要作用。