slm流量単位

SLM是一個流量單位，用於表示標準狀況下的體積流量。具體來說，SLM代表標準升每分鐘（Standard Liter per Minute），這裡的「標準狀況」指的是溫度為0℃和壓力為1個大氣壓（1 atm）的條件。SLM通常用於質量流量控制器和質量流量計，尤其是在需要精確控制微量氣體流量的套用中，如真空半導體行業。SLM與SCCM（標準毫升每分鐘）類似，都是體積流量的行業標準單位，但SLM表示的是升每分鐘，而SCCM表示的是毫升每分鐘。