XPS分峰教程主要包括以下幾個步驟：
原始數據查看與分析。首先，查看XPS高分辨譜的原始數據，這些數據通常為「.xls」檔案格式，包含特定元素的高分辨譜及半定量分析的原始數據。
荷電校準。在進行分峰擬合前，需要對原始數據進行荷電校準，一般使用外來污染碳（284.8 eV）作為基準，通過對比C1s譜峰的結合能與其他標準值來確定校正值。
分峰擬合處理。將校準後的數據轉換為「.txt」或「.xls」格式；使用PeakFit或XPS Peak等軟體導入上述格式的檔案；選取要擬合的譜峰X軸區間，建立基準線（可選步驟），選擇合適的峰擬合方法，如殘差法、二階導數法或卷積反演法；在擬合過程中，可以調整峰位置、峰面積、半峰寬等參數以獲得最佳擬合效果。
擬合結果評估與報告。觀察擬合後總峰與原始峰的重合情況以評估擬合質量，列印或導出帶有峰參數的譜圖以供進一步分析，如通過峰面積計算不同化學態的含量比。
XPS分峰是一種重要的表面分析技術，廣泛套用於材料科學、化學和物理學領域，通過分峰技術，可以識別和分析樣品表面不同化學環境下原子的電子結構。