三氟化氮是什麼

無機化合物

三氟化氮是一種無機化合物，化學式爲NF3，常溫常壓下爲無色氣體。

三氟化氮不溶於水，是一種強氧化劑，在微電子工業中作爲一種優良的等離子蝕刻氣體，還可用於高能燃料。三氟化氮具有強烈的刺激性和腐蝕性，但在離子蝕刻時裂解爲活性氟離子，對硅和鎢化合物具有優異的蝕刻速率和選擇性，在半導體芯片、平板顯示器、光伏電池等的製造中得到廣泛應用。