三氯 矽烷，也 稱 為三氯 氫 矽或 矽氯仿，是一 種 無 機化合物，化 學式 為SiHCl3。
三氯 矽烷是一 種 無色液 體， 極易 揮 發， 並溶 於苯、乙醚、庚烷等多 種有 機溶 劑。三氯 矽烷主要 用於 製造 矽酮化合物、有 機 矽烷和烷基、芳基以及有 機官能 團氯 矽烷的合成。它在有 機 矽烷偶 聯 劑中是最基本的 單 體， 並且是生 產半 導 體 矽和 單晶 矽的原料。三氯 矽烷的熔 點 為-126.5℃，沸 點 為31.8℃， 閃 點 為-28℃。它具有易燃、易爆的特性，在空 氣中即可自燃，爆炸 極限 為1.2%-90.5%。 由於其危 險性，需要 採取特殊的安全措施 進行存 儲和 處理。