什麼叫靶材

靶材是一種特殊的材料，主要用於各種材料沉積工藝中，如電鍍、磁控濺射、化學氣相沉積等。

這些工藝中，靶材作為材料源，被固定在設備內部，當高能粒子（如離子、電子等）轟擊靶材表面時，靶材的原子或分子被噴射或沉積到基底上，形成薄膜。靶材可以由金屬、合金、陶瓷等材料製成，其純度和製備質量對所製備薄膜的質量和性能有直接影響。在半導體、微電子、顯示器、存儲器等行業中廣泛套用。