什麼是分子泵

分子泵是一種用於創建高真空環境的設備，其工作原理是利用高速旋轉的葉輪將氣體分子從系統中抽出。

分子泵的葉輪通常由抽氣部分、機械部分和電子部分組成，在機械部分的驅動下，葉輪高速旋轉，氣體分子在葉輪上加速旋轉，然後在靠近壁面時受到電場影響而離開葉輪，最終被抽出氣體管道。分子泵能夠達到非常高的真空度，常用於半導體加工、真空蒸發、光刻、電漿研究、質譜和納米顆粒製備等領域。