工業設備
真空爐是一種工業設備，主要用於在真空環境下對材料進行高溫處理。
真空爐的核心特點在於其能夠創造一箇低壓力環境，通常將爐內壓強降至10^-3到10^-5帕斯卡，這有助於減少材料在高溫處理過程中的氧化、純度損失、以及材料之間的相互反應和腐蝕。真空爐在金屬、陶瓷、光伏、半導體和玻璃等材料的加工製造過程中發揮着重要作用。其主要結構包括爐體、加熱元件和真空系統，其中爐體通常由不鏽鋼或其他合金材料製成，具有較強的耐高溫、壓力和腐蝕性能。加熱元件主要有電阻加熱器、感應加熱器、電子束加熱器等，可以根據實際工藝需要靈活選擇。真空系統則由真空泵、閥門、管道等組成，負責實現對爐內氣體的抽取、排放和檢測。