什麼是電子束光刻技術

微加工技術

電子束光刻技術是一種微加工技術，它使用電子束在塗有電子抗蝕劑的晶片上繪製圖案。

這項技術利用電子束在微米到納米級別進行精確成像，具有極高的分辨率，能夠製造出非常小的圖案。電子束光刻系統可以分爲兩類，一類用於製造大規模生產用的光掩模版，另一類則直接在基片上繪製納米級圖形。這種技術在微電子製造中非常重要，尤其是在需要高精度和分辨率的領域，如納米電子學和先進集成電路製造。