功能基元

功能基元（functional element）是指在原子、分子尺度和巨觀尺度之間引入具有特定功能的中間結構單元，構成器件並為完成器件電學功能不可缺少的任一層互鄰接的基元。例如擴散區、通道、柵、引線孔等，不包括劃片線、對準標記、標籤符號等。同時，功能基元也是指對材料功能起關鍵作用的微觀結構單元，其組成與排列決定著材料的性能。