四甲基矽烷（TMS）是一種有機化合物，化學式為C4H12Si，主要用途包括：
作為核磁共振分析中的內標基準試劑。在1H、13C和29Si的檢測中發揮作用。
用於有機合成。特別是用於合成新型農藥和醫藥。
用作發泡劑。可以單獨或與低沸點烷烴混合，用於聚氨酯或聚烯烴泡沫塑膠的生產。
在電子工業中的套用。高純度四甲基矽烷（質量分數99.99%）可用作化學氣相沉積（CVD）或電漿增強化學氣相沉積（PECVD）的前驅體，用於製備高質量的碳化矽薄膜。
在矽材料製備中的套用。矽烷作為一種提供矽組分的氣體源，可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽等，在微電子、光電子工業中具有重要套用。