嬰靈超度儀式通常包括以下步驟：
齋戒沐浴。在做法事前，需要保持身心清淨。
設壇。準備招魂幡等旗幡，並設置陰陽壇。陰壇上要擺放亡人牌位，並放置鮮花、供果、三茶四酒、三葷四素、香寶蠟燭、米飯饅頭等供品，以及燒紙錢的準備。
登壇做法。法師首先進行淨壇法事，然後進行超度法事。
誦經。法事過程中會誦讀多種經文，常見的有《太上洞玄靈寶救苦拔罪妙經》《元始天尊說豐都滅罪經》等。如果是女性，還需加上《太乙救苦天尊說撥度酆都血湖妙經》。
這些步驟旨在爲亡魂超度，使其得到安寧。需要注意的是，這些儀式可能因地域、宗教信仰和文化習俗的不同而有所差異。