平行平晶的使用方法如下：
將平行平晶放置在被測表面上，使其與被測表面形成一個很小的楔角（θ）。當使用單色光源照射時，會產生乾涉條紋。這些乾涉條紋的位置與光線的入射角有關。
如果入射光線垂直於被測表面，並且平晶與被測表面間的間隙很小，那麼由平晶測量面反射的光線與被測表面反射的光線在測量面發生乾涉，從而出現明或暗的乾涉條紋。在白光下，這些條紋會呈現為彩色。
根據乾涉條紋的情況可以判斷被測表面的平面度。如果幹涉條紋平直、相互平行且分布均勻，則表示被測表面的平面度很好。如果幹涉條紋彎曲，則表示平面度不佳。誤差值可以通過特定的公式計算，其中涉及光波波長、乾涉帶彎曲量和間距等因素。
平行平晶是用於以乾涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面、測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的常用工具。
它適用於光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用於高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。