材料分析表徵方法可以分為以下幾類：
微觀形貌分析。使用掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)和掃描隧道顯微鏡(STM)等技術來觀察和分析材料的幾何形貌、顆粒度及其分布。
物相結構分析。採用X射線衍射分析、雷射拉曼分析、傅立葉紅外分析以及微區電子衍射分析等方法來確定材料的物相和晶體結構。
成分分析。包括原子吸收、原子發射ICP、質譜以及X射線螢光與X射線衍射分析方法，用於分析材料中元素的組成及其雜質成分。
物理性能分析。常用的方法有氮氣吸脫附、TG、TG-MS、TPD等，用於測量材料的物理性能。
先進材料表徵方法。利用電子、光子、離子、原子、強電場、熱能等與固體表面相互作用，測量從表面散射或發射的電子、光子、離子、原子、分子的能譜、光譜、質譜、空間分布或衍射圖像，得到表面成分、結構、電子態及物理化學過程等信息。
譜圖類表徵方法。包括X射線光電子能譜(XPS)、紫外可見光譜(UV-vis)、核磁共振波譜(NMR)、拉曼光譜(Raman)、紅外光譜(IR)和質譜分析法(MS)等，這些方法主要用於表徵材料的晶體結構、成分和化學鍵信息。
這些方法綜合運用，可以全面表徵材料的各種性質和特性。