動量傳遞原理
真空分子泵的工作原理主要基於動量傳遞原理。
當分子泵的葉片以高速旋轉時，它們會與氣體分子發生碰撞，這種碰撞傳遞給氣體分子一定的動量，從而改變它們的運動方向，使得這些氣體分子被推向泵的出口。這種定向流動的氣體分子被排出泵外，從而實現抽氣的效果。分子泵能夠在分子流區域內工作，這裡的分子流是指氣體分子在低壓區域內的自然運動。分子泵的核心部件是旋轉葉片和固定葉片，它們通常以較高的轉速（如1800至90000轉/分鐘）運行，葉片的設計使得氣體分子在與葉片表面碰撞時，能夠獲得垂直於葉片表面的動量，從而被推向排氣口。
分子泵具有高抽速、極低的殘留氣體壓力和優異的進氣特性等優點，但它們無法在大氣壓下工作，對固體異物也非常敏感，因此通常需要在吸氣口安裝保護網以過濾雜物。