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肖特基缺陷的公式可以用簡單的形式表示為A+n⁻↔Aⁿ⁺+ne⁻。在這個反應中,A代表雜質離子,n⁻代表半導體中的電子,Aⁿ⁺表示雜質離子的氧化態,而ne⁻代表電子。