臭氧發生器具有多種優點，主要包括：
強大的氧化能力。臭氧是一種優良的氧化劑，能夠有效殺滅抗氯性強的病毒和芽孢，同時分解難生物降解的有機物和三致物質，提高污水的可生化性。
環保衛生。臭氧消毒產物無害且自身不對環境產生污染，在環境中能自然分解成氧氣，是一種潔淨的淨化技術。
高效迅速。臭氧消毒能在短時間內產生效果，能有效殺滅各種微生物。
操作方便。臭氧發生器可以流動使用，對不同的容器進行消毒，使用效率高。
適應性強。臭氧發生器可以隨地使用，就地取材產生高濃度臭氧，操作方便。
經濟實惠。臭氧發生器在運行過程中能耗較低，是一種經濟實惠的消毒方法。
廣泛的應用領域。臭氧發生器不僅應用於水處理和空氣淨化，還適用於食品加工、化妝品生產等領域。
無殘留物。臭氧消毒後不會留下殘留物，不會造成二次污染。
高空氣溼度下的殺菌效果顯著。在空氣溼度較高的情況下，臭氧的殺菌效果比紫外線更好。
可以在作業現場進行現場消毒。與紫外線消毒不同，臭氧消毒時生產人員可以離開現場，消毒完成後可以降低臭氧產生量。