餐具消毒櫃的消毒原理主要有四種，分別是紫外線消毒、高溫消毒、臭氧消毒以及組合型消毒。具體如下：
紫外線消毒。紫外線消毒櫃利用紫外線照射細菌和病毒，破壞其DNA結構，從而達到殺菌的效果，紫外線的殺菌效果與其照射強度和總照射量有關，一般殺滅率能達到99%。
高溫消毒。高溫消毒櫃通過產生高溫（通常超過100℃）持續作用一段時間，使細菌和病毒的蛋白質變性，從而殺滅微生物，這種消毒方式通常採用遠紅外線加熱。
臭氧消毒。臭氧消毒櫃釋放臭氧，利用臭氧的強氧化性進行消毒，臭氧能夠破壞細菌的細胞壁，影響其繁殖和生長，從而達到徹底殺菌的目的。
組合型消毒。部分消毒櫃結合了上述兩種或三種方法，如紫外線與臭氧的結合使用，可以更有效地殺滅微生物。