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bcl3是什麼氣體

三氯化硼

BCl3是三氯化硼,是一種無色、有刺激性氣味的氣體,在室溫下爲液態,常見於半導體工業等領域,是半導體制造中的常用氣體,在鋁的幹法蝕刻和CVD中應用十分廣泛。同時,它也可用作有機反應催化劑,如酯化烷基化聚合異構化、磺化、硝化等,還可用作鑄鎂及合金時的防氧化劑,以及製備鹵化硼、元素硼硼烷硼氫化鈉等的主要原料。