四氟化碳(CF4)是一種多用途的化學物質，主要套用領域包括：
微電子工業。四氟化碳是等離子蝕刻工藝中用量最大的氣體，廣泛套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻。
積體電路製造。用於各種積體電路的等離子刻蝕工藝。
太陽能電池生產。用於太陽能電池的生產。
雷射技術和低溫製冷。用作雷射氣體和低溫製冷劑。
金屬冶煉。由於其化學穩定性，四氟化碳用於金屬冶煉，如銅、不鏽鋼、碳鋼、鋁等。
塑膠行業。用於塑膠行業，如合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯等。
電器設備。用於電絕緣，其優異的介電性能使其成為高壓設備的安全選擇。
宇宙射線探測。用於研究中微子和宇宙輻射的探測。
微量氣體分析。用於超敏感電子捕獲檢測。
柴油機套用。用於高速直噴柴油機，特別適用於燃燒高硫含量燃料的柴油機。
這些套用展示了四氟化碳在眾多領域的廣泛適用性和重要性。