dry pump工作原理

螺桿技術

乾式機械真空泵（Dry Pump）的工作原理主要基於螺桿技術。這種泵的設計允許它直接從大氣壓力開始抽氣，並且能夠將抽出的氣體直接排放到大氣中。乾式機械真空泵的特點是泵腔內不使用油或其他工作介質，因此不會出現工作介質返流污染被抽容器的問題。這種泵的極限壓力與油封式真空泵相當，甚至更優，且在低壓化學氣相沉積、半導體刻蝕等工藝中套用廣泛，因為這些工藝中通常涉及到腐蝕性氣體和微粒的產生，使用乾式機械真空泵可以避免微粒混入泵油中，確保工藝質量和設備維護的簡便性。