EBSD（電子背散射衍射）技術是一種在掃描電子顯微鏡（SEM）中使用的分析技術，主要用於材料科學領域。它的工作原理如下：
當高能電子束照射在樣品表面時，部分電子會發生彈性或非彈性散射。這些散射電子中的一部分會滿足布拉格衍射條件，形成特定的衍射花樣，這些花樣包含了關於晶體結構、晶粒取向和晶格參數的重要信息。
通過分析這些衍射花樣，可以確定樣品的晶體結構和晶粒取向。
EBSD系統通常包括一個靈敏的CCD攝像頭和一個圖像處理系統，用於捕捉和分析衍射花樣。樣品通常被調整到與電子束成一定角度（如70°），以增強衍射信號的強度。
EBSD技術能夠提供亞微米級的空間解析度，從而在微觀尺度上研究材料的晶體結構和織構。
EBSD技術的套用非常廣泛，包括研究金屬和合金、陶瓷、半導體和超導體等材料的微觀組織結構、織構、相變、晶界特性、塑性變形行為等。