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hemt原理

HEMT(High Electron Mobility Transistor,高電子遷移率電晶體)的工作原理主要基於異質結兩側半導體材料的禁頻寬度不同,導致費米能級不同。電子會從寬禁帶材料向窄禁帶材料轉移,直到兩側的費米能級達到相同。這一過程在異質結界面形成內建電場,引起能帶彎曲,從而在窄禁帶一側形成三角形勢阱,勢阱內聚集了二維電子氣2DEG)。兩種材料禁頻寬度差別越大,內建電場越強,產生的三角形勢阱越深,二維電子氣濃度就越高。

對於耗盡型HEMT,即使柵極不加電壓,由於內建電場的作用,已經有足夠的二維電子氣濃度使器件導通。要關斷器件,需要在柵極加負壓,以產生一個與內建電場相反的電場,減輕界面能帶彎曲,減小三角形勢阱深度,從而減小二維電子氣濃度。而對於增強型HEMT,柵極不加電壓時,由於柵電極肖特基勢壘的影響或勢壘層摻雜濃度過低,二維電子氣濃度很低,器件無法導通。要開啟器件,需要在柵極加正壓,以產生一個與內建電場同向的電場,增加能帶彎曲,增大三角形勢阱深度,從而增大二維電子氣濃度,使HEMT導通。

此外,HEMT的電流調製是通過改變柵電極偏置電壓來控制溝道中2DEG的通斷實現的。這種控制機制使得HEMT能夠高效地調製電流,從而在各種電子設備中發揮關鍵作用。