ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是一種廣泛套用於電子和光電領域的材料。它的主要成分是氧化銦（In2O3）和氧化錫（SnO2），通常以90%氧化銦和10%氧化錫的比例混合。ITO靶材通過濺射技術製成ITO薄膜，這種薄膜具有高透明度和優異的電導率，因此在眾多套用中發揮著關鍵作用。
ITO靶材的主要用途包括：
液晶顯示器（LCD）：ITO薄膜用作液晶顯示器的透明電極，通過在薄膜上施加電場來調節液晶的排列，實現像素的控制。
觸控螢幕：ITO作為觸控螢幕的導電層，使設備能夠對觸摸信號做出回響，實現觸摸操作。
太陽能電池：ITO用作太陽能電池的透明電極，幫助太陽能電池吸收太陽能並產生電流。
有機發光二極體（OLED）：ITO薄膜在OLED中用作電極，幫助實現有機發光材料的電致發光。
導電玻璃：ITO塗覆在玻璃表面，形成導電玻璃，用於製造顯示器、光伏電池等。
此外，ITO靶材還套用於光伏產業，如HJT電池，以及功能性玻璃，如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃等。ITO靶材的生產工藝包括冷等靜壓或濕法注漿，高溫燒結，而其薄膜可以達到可見光透過率95%以上，對紫外線的吸收率達到85%以上，紅外線的反射率達到80%以上。
在全球銦消耗量中，40%～50%以上是用於製備加工ITO靶材。由於其具備高硬度、耐磨、耐蝕性等優異特性，ITO靶材在平板顯示各領域均有廣泛的套用。