透射電子顯微鏡(TEM)的操作流程主要包括以下步驟:
準備工作。確保實驗室區域的安全性,使用個人防護設備如實驗室衣物、手套和護目鏡。準備待測樣品,對樣品進行適當的固定和切片處理,以便在TEM中觀察。
樣品載入。將樣品載入到TEM樣品架上,確保樣品位於支撐薄膜上,並避免灰塵和污染。
調整TEM參數。選擇電子能量,根據樣品性質調整以獲得最佳解析度;調整對比度,確保樣品中的細節清晰可見;設定放大倍數,根據需要選擇適當的放大倍數;使用TEM的對焦系統調整以獲得清晰的圖像,並調整照明以確保樣品受到足夠的電子照射。
拍攝圖像。選擇攝像模式,如高解析度TEM或掃描透射電子顯微鏡(STEM);使用相應的攝像設備拍攝樣品的圖像,確保曝光時間和對比度設定適當。
進行譜學分析(可選)。如果有能譜分析功能,進行樣品的能譜分析以確定樣品中元素的組成;利用電子衍射模式分析樣品的晶體結構。
數據保存。將獲得的TEM圖像保存到計算機或其他存儲介質上,以備後續分析和報告使用。
關閉TEM。在完成實驗後,停止透射電子顯微鏡的運行,根據儀器要求逐步冷卻樣品架,以防止樣品損傷。