X射線反射率測試（XRR）是一種用於分析薄膜的材料科學技術，主要用於測量薄膜的厚度、密度和粗糙度。其基本原理是利用X射線在薄膜表面和界面之間的反射和折射，以及這些反射光線之間的相互乾涉。這種技術可以用於分析多層膜和單層膜內的結構，包括結晶薄膜和無定形薄膜。XRR與X射線衍射（XRD）的衍射原理不同，因此它不僅可以分析結晶薄膜，也可以分析無定形薄膜。在測試過程中，X射線以很小的角度入射到樣品表面，並以對稱耦合模式進行測量，即入射角與反射角同步等步長增加，這種模式下XRR也被稱為GIXRR（Grazing Incidence X-ray Reflection）。