光整加工是一 種旨在 減小工件表面粗糙度的加工方法，它 包括多 種不同的技 術和方法，以下是 詳 細介 紹：
超 級光磨。使用 裝有 細磨粒和低硬度油石的磨 頭，在工件表面 進行微量切削和 擠 壓，以提高表面 質量。 這 種方法通常 用於精密加工，如光 學元件和微型 機械的表面 處理。
光 拋光法。利用光束的能量消除物 體表面的瑕疵和不平整， 適 用於表面 處理和精密加工。
光化 學加工法。通 過光化 學反 應在材料表面形成 圖案、 納米 結 構或薄膜，常 用於 納米加工和超 細加工 領域。
雷射微 織 構法。直接在材料表面 進行微 織 構加工， 適 用於微 納加工和表面 處理。
光束 誘 導沉 積法。通 過光束在溶液中 產生的化 學反 應 製備 納米材料、 納米 電子元件等。
電解 拋光方法。利用 電解作用填平材料表面的微小凹坑， 適 用於多 種金 屬材料的表面 處理。
化 學 機械 拋光方法。 結合化 學反 應和 機械磨擦作用， 適 用於加工微米 級和 納米 級的光 學元件、半 導 體器件等。
雷射加工方法。通 過 雷射束聚焦和 掃描等方式 對材料表面 進行加工， 適 用於金 屬、玻璃、陶瓷等材料的表面加工和微 細加工。
此外， 還有 機械研磨加工、化 學 拋光加工、 噴砂加工等方法。 這些方法各有特 點， 適 用於不同的材料和加工要求。