光刻膠或光致抗蝕劑
半導體光罩,也被稱爲光刻膠或光致抗蝕劑,是半導體制造過程中非常重要的一種材料。
半導體光罩在製作集成電路(IC)和其他半導體器件中起着關鍵作用。它通常由石英玻璃製成,其上面鍍有一層金屬鉻和感光膠,這種材料可以接收並響應電子激光設備的曝光,從而在感光膠上形成電路圖形。這些圖形然後被用於光蝕刻技術,將設計好的電路圖案精確地複製到半導體晶圓上,從而製造出各種電子器件,如二極管、晶體管和集成電路等。半導體光罩在整個微電子製造中扮演着類似於照相底片的角色,是轉移高精密電路設計的重要工具,同時也承載了圖形設計和工藝技術等知識產權信息。