製造臭氧的方法有幾種，主要包括：
紫外照射法。此方法使用紫外線照射乾燥的氧氣，使氧分子激活離解成氧原子，進而形成臭氧。這種方法產生的臭氧濃度較低，優點是不易產生氧化物，且不需要複雜的轉換設備。
電解法。此方法自1840年以來一直被使用，通過低壓直流電電解水，在陽極-溶液界面上發生氧化反應產生臭氧。
放射化學法。此方法利用各種放射源的核輻射離解氧分子生成臭氧。
介質阻擋放電法（無聲放電法，簡稱DBD法）。此方法通過交變高壓電場在氣體中產生電暈，電暈中的自由高能電子離解氧氣分子，經碰撞聚合形成臭氧分子。
電暈（空氣法）高壓放電法。此方法通過高壓放電，使氧氣或空氣中的氧分子在放電間隙中獲得能量，相互碰撞聚合成臭氧。
低壓水解法。此方法採用低壓直流電解去離子水，水在陽極界面上因高密度電流產生的電子激發而獲得能量，聚合成臭氧。
這些方法各有特點，例如電解法和低壓水解法產生的臭氧濃度較高，而紫外照射法和放射化學法則較為簡單。選擇合適的方法取決於具體套用場景和需求。