真空泵可能因為多種原因出現故障或性能下降，常見的原因包括：
溫度過高。可能是由於被抽氣體溫度過高、吸入硬物磨損泵體、冷卻水流量不足或安裝不當導致轉子軸移動等原因造成的。
過載或電機問題。電機過載可能導致電機燒毀，包括電機內軸承損壞、泵頭卡死、電機線圈燒毀或泵頭連軸器與電機聯軸器配合過緊。
冒煙或噴油。這可能是由於排氣過濾器失效造成的。
真空度不足。可能由於葉片磨損、密封件老化漏氣、真空泵油過少、管路漏氣或進氣口堵塞。
異響。可能由葉片損壞、軸承損壞、端蓋與轉子磨損或馬達軸承損壞引起。
漏油。由於密封件或排氣過濾器老化失效。
管道洩漏。需要專業人員檢查和修補。
供水溫度高。長時間使用可能導致需要冷卻停機。
泵體內部堵塞。需要清洗泵體內部積聚物。
密封問題。如密封圈老化或損壞，需檢查並更換。
電路問題。如電源線、插頭、保險絲損壞，需檢查並修復。
易損件老化。如濾網、密封圈、電機等，需要定期更換。
根據具體症狀，應選擇適當的解決方法，如清理、修理、更換部件或檢查電路。