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azo靶材成分

AZO靶材,全稱氧化鋅鋁靶材,是一種特殊的摻雜型半導體材料。具體來說,它是由氧化鋅(ZnO)和鋁(Al)組成的複合材料,通常表述為ZnO:Al。AZO靶材的成分主要為氧化鋅(ZnO)和摻雜的鋁(Al),用於增強其導電性能。AZO靶材的主要成分並不含銦,這與另一種透明導電薄膜-氧化銦錫(ITO,來自Indium Tin Oxide)相區別,後者的成分為氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)。AZO靶材在材料科學領域裡,特別是在薄膜製備和光電器件中,扮演著重要角色。