CDA氣體有兩種常見的含義，一種是指氯氟烴代替劑（Chlorofluorocarbon Substitute Agents），也稱爲氯氟碳氣體（Chlorofluorocarbon Gas），它是一種無色、無味、無毒的氣體，常用於製冷劑、氣霧劑、清潔劑等工業領域。另一種是指壓縮乾燥潔淨空氣（Clean Dry Air），它是來自於大氣經空氣壓縮機壓縮後的氣體，再經過除溼、過濾器過濾或活性炭吸附去除粉塵、碳氫化合物等雜質，以此向工廠供氣，主要供給FAB內氣動設備動力氣源及吹淨(purge)LocalScrubber助燃。