能量色散X射線光譜分析
EDX(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)分析,也稱為能量色散X射線光譜分析,是一種用於材料分析和成分測定的技術。
EDX分析利用高能電子或X射線轟擊材料表面,使樣品中的原子或分子發生電離和激發,然後通過檢測樣品發出的特定能量X射線來識別和測量元素的組成和含量。這種方法可以用於定性和定量分析,即確定樣品中存在哪些元素以及這些元素的相對含量,EDX分析通常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)結合使用,以實現對樣品微區成分的元素種類與含量分析。EDX分析的套用領域包括材料科學、能源、環境監測、電子工業等多個領域。