ICP操作步驟包括以下內容：
開機和準備。首先打開冷卻循環水箱的電源和水泵，確保ICP水壓開關打開。然後開啟ICP穩壓電源，合上ICP電源開關，等待約3分鐘直到高壓指示燈亮起。
調整氣體和流量。打開排風扇和氬氣瓶，調節氬氣輸出壓力至0.25Mpa。打開ICP載氣和等離子氣，調整流量至適當位置（如600~700L/h），暫時關閉載氣。
點火和調節功率。按高壓開關鍵，同時按下點燃按鈕進行點火。若未點燃，將輸出功率調至1擋，點燃後調至3擋，觀察火焰及參數（如KV、Ia、Ig）。根據需要調節輸出功率。
操作軟體和測量。打開ICP軟體，進行零級掃描和自動掃描，選擇合適的方法進行測量。在分析測量下，將毛細管插入尋峰標準液中尋峰，根據需要調整高標衰減。測量不同標準後，保存數據。測量樣品前，需用蒸餾水清洗毛細管。
關機。將輸出功率調至零，關閉高壓和ICP電源，然後關閉氬氣瓶和冷卻循環水箱電源及水泵。
注意事項。在操作過程中，確保所有閥門和開關處於正確位置，定期檢查氣體壓力和進出水壓力，保持儀器清潔並遵循安全規程。