OES（Optical Emission Spectroscopy）原理：
激發源：OES系統使用電火花激發金屬樣品，使樣品表面的材料汽化，隨後被電弧或火花產生的氬電漿激發。
光譜產生：激發產生紫外線和可見光範圍內的元素特徵譜線，這些譜線包括由樣品中存在的元素及其濃度獲得的全波長光譜。
色散與檢測：由火花過程產生的光進入光學系統，並通過衍射光柵在光譜儀外殼內的真空區域進行色散。使用CCD檢測器或光電倍增管（PMT）採集信號並轉換為電信號。CCD探測器通常直接獲得光譜中感興趣波長的信號，而PMT將光子轉換為電信號，並根據校準曲線轉換為濃度值。
數據處理：計算機系統獲得測得的強度後，通過預設的校準程式對數據進行處理並得出元素濃度。用戶界面可直接、清晰地顯示處理結果，結果也可列印或保存以便日後使用。
ICP-OES（Inductively Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry）原理：
激發源：待測試樣經噴霧器形成氣溶膠進入石英炬管電漿中心通道中，經光源激發以後所輻射的譜線。
分光與檢測：色散系統光柵將進入的光譜根據波長色散開，然後通過對應的檢測器測量各個波長的譜線強度。測量得出的譜線強度與樣品中的元素濃度成正比。
數據處理：計算機系統獲得測得的強度後，會通過預設的校準程式對數據進行處理並得出元素濃度。
綜上所述，OES和ICP-OES都是基於原子發射光譜分析技術，通過激發樣品產生特徵光譜，然後通過光譜分析來確定樣品中元素的含量和組成。