掩膜版的尺寸可以根據不同的套用和需求有很大的變化。以下是一些常見的尺寸範圍和特定套用下的尺寸：
一般尺寸範圍：
20英寸至30英寸之間，甚至更大。
包括A4、A3、1020*1020mm等。
特定套用尺寸：
對於6英寸×6英寸（約15cm×15cm）的主流掩膜版，這是能夠刻制的矽片大小的上限。
四英寸晶圓掩膜板的尺寸一般為100mm100mm左右，其他常見尺寸還包括90mm90mm、95mm*95mm等。
特殊尺寸：
有記錄的最大尺寸為600*600mm，這可能適用於特定的生產需求或技術。
綜上所述，掩膜版的尺寸取決於多種因素，包括晶圓的直徑、生產需求、技術要求等。在實際套用中，選擇合適的掩膜版尺寸對於確保生產效率和產品質量至關重要。