精度分析方法主要包括以下步驟：
全面分析誤差來源。這需要找出所有對總誤差有影響的原始誤差。例如，在齒輪製造中，齒厚誤差會影響齒輪副的傳動精度，這是有效誤差的一個例子；而齒寬誤差不會影響傳動精度，因此被視為無效誤差。
在尋找誤差來源時，應避免重複和遺漏，有條理地從輸入端到輸出端依次尋找原始誤差。對於複雜的裝置或設備，可以將其劃分為幾個組成部分（或部件）逐個進行分析。例如，在電子儀器和精密傳動鏈的情況下，可以從輸入端開始依次尋找直至輸出端；而對於光學精密計量儀器，則可以按照感受部分、傳遞部分（包括傳動放大和光電轉換等）和讀數（或記錄）部分所組成的順序來尋找誤差源。