非晶矽薄膜，也稱為無定形矽，是一種非晶態的矽材料，具有高硬度、良好的光學和電學性能。
非晶矽薄膜的微觀結構具有長程無序和短程有序的特徵，其原子結構與晶體矽相比缺乏長程周期性排列，但仍然保持一定的短程有序性。這種結構導致非晶矽材料內部含有較多的缺陷，使其相較於晶體矽具有更加活潑的化學性質和更複雜的電學性質。非晶矽薄膜的光吸收係數較高、光電轉換能力較強，使得它在太陽能電池領域具有較高的套用價值和優勢。此外，非晶矽薄膜還被廣泛套用於液晶顯示屏、平面攝像器件、感測器、高速印表機等多種產品中，利用其敏感的場效應特性製備的薄膜場效應電晶體（TFT）在平板顯示器製造行業中扮演著核心角色。