XRD精修要求主要包括以下幾點：
衍射峰強度要求高，中等強度的衍射峰強度應達到5000計數以上，而最強衍射峰的計數應在10000至20000之間。
衍射峰的解析度應儘可能好，半高寬（FWHM）內有3到5個點。
掃描範圍要適當，掃描起始點不應缺失最大d值的峰，而終點應涵蓋高角度的衍射值，以確保峰形完整。
步長選擇也很關鍵，一般步長為FWHM的0.2至0.3，可確保數據點的均勻分布。
在進行Rietveld分析時，掃描速度應根據數據強度要求調整，中等強度的衍射峰強度達到5000以上即可，且通常不需要加內標。